Электронная почта
info@riseportglobal.comТелефон
+86-18642501777
Изоляция камеры печи из SiC высокой чистоты
ОПИСАНИЕ ПРОДУКТА
Изоляционный ствол из перекристаллизованного карбида кремния является ключевым компонентом высокотехнологичного высокотемпературного промышленного оборудования, демонстрируя, в частности, незаменимые преимущества в процессах высокотемпературной обработки в полупроводниковой, фотоэлектрической, специальной керамике и других областях. Функцией изоляционного ствола камеры печи является защита производственной среды изготовления микросхем — сверхчистой и сверхточной производственной среды.
Изоляционный цилиндр печи изготовлен из нитрида кремния, также известного как изоляционный цилиндр из карбида кремния. Изоляционный цилиндр из карбида кремния обеспечивает стабильность состояния окружающей среды, а не температуры. Он поддерживает постоянный, чистый и инертный «микроклимат». Изоляционные цилиндры из карбида кремния — это передовые высокотехнологичные контейнеры, защищающие пластины стоимостью в миллионы долларов и обеспечивающие выход годных кристаллов. Изоляционный цилиндр из карбида кремния — важнейший компонент в производстве кристаллов.
Характеристики изоляционного ствола RSiC
1. Сверхвысокая температурная стабильность: предел термостойкости, температура длительного использования может достигать 1600 ℃, кратковременный допуск 1800 ℃.
2. Сохранение прочности при высоких температурах: прочность на сжатие при температуре 1500 ℃ изоляционного материала из карбида кремния превышает 100 МПа, в то время как прочность изоляционного материала из оксида алюминия снижается более чем на 50% при той же температуре.
3. Максимальная тепловая эффективность: теплопроводность изоляционного корпуса из SiC (карбида кремния) на 40% ниже, чем у обычных материалов на основе карбида кремния (карбида кремния), благодаря особой пористой структуре. Многослойная отражающая структура: материал RSiC обладает высокой теплоотражающей способностью.
4. Химическая инертность: Коррозионная стойкость: изоляционный корпус из SiC может противостоять кислым газам, таким как HCl, ВЧ, пары H2SO4, щелочным средам, таким как расплавленная соль Na2CO3, и расплавам металлов, таким как Эл, Cu, Аг и т. д.;
5. Изоляционный ствол из SiC имеет длительный срок службы.
ОСОБЕННОСТИ И ПРЕИМУЩЕСТВА
· Высокая термостойкость
· Стойкость к термическому удару
· Высокая теплопроводность
· Высокая механическая прочность
· Устойчивость к кислотам и щелочам
· Износостойкость
ОСНОВНОЙ ПАРАМЕТР
Оборудование для высокотемпературных печей | RSiC |
Содержание SiC (%) | ≥99% |
Насыпная плотность (г/см3)3) | 2,65~2,75 |
Кажущаяся пористость (%) | <17 |
Прочность при комнатной температуре (МПа) | 90~100 |
Прочность при 1300℃(МПа) | 100-110 |
Модуль упругости при 20℃ | 240 |
Теплопроводность при 1200 ℃ (Вт/мК) | 36 |
Тепловое расширение x10-6/℃ | 4.6 |
Максимальная температура использования (℃) | 1650℃ |
Твердость при 20°C (кг/мм2) | 2000 |
Вязкость разрушения при 20° (МПаxМ)1/2) | 2.0 |
ИНФОРМАЦИЯ О ПРОДУКТЕ
Изоляционный цилиндр отличается сверхвысокой чистотой: чистота спеченного тела превышает 3N, а точность обработки может достигать 0,01 мм.
УПАКОВКА
ПОЧЕМУ ВЫБИРАЮТ НАС
