Продукты

Рекомендуемые продукты

связаться с нами

  • Труба печи RSiC высокой чистоты, тонкостенная
  • Труба печи RSiC высокой чистоты, тонкостенная
  • Труба печи RSiC высокой чистоты, тонкостенная
  • video

Труба печи RSiC высокой чистоты, тонкостенная

  • Starlight
  • Шэньян, Китай
  • 30-45 дней
  • Переработка 500т/год SiC-продуктов
Трубки полупроводниковых печей (например, те, которые используются в диффузионных печах, окислительных печах и т. д.) должны соответствовать строгим требованиям, таким как сверхвысокая чистота, высокая температурная стабильность и стойкость к тепловым ударам. Печная труба из RSiC стала распространенным материалом благодаря своим превосходным свойствам. Чистота спеченного тела — выше 3N, точность обработки — 0,01 мм.

Труба технологическая/RSiC трубчатая печь высокой чистоты тонкостенная

RSiC furnace tube

ОПИСАНИЕ ПРОДУКТА

В высокотемпературном оборудовании для производства полупроводников и фотоэлектрических систем, таком как диффузионные печи, печи химического осаждения из газовой фазы, печи отжига и т. д., трубка печи RSiC является ключевым вспомогательным компонентом, устанавливаемым внутри или снаружи основной технологической трубки, а роль технологической трубки выходит далеко за рамки простой физической защиты.

Трубы печи могут предотвратить загрязнение металла, обеспечивая контроль за загрязнениями и чистоту во время процесса;

Защитите основную технологическую трубку и продлите срок службы оборудования.

Печные трубы RSiC обладают значительными преимуществами в таких высокотехнологичных производственных областях, как производство полупроводников, фотоэлектрических устройств и полупроводников третьего поколения, в высокотемпературных, коррозионных и высокочистых процессах.

Характеристики трубы печи RSiC

1. Экстремально высокие температурные характеристики: температура до 1600 ℃, что значительно превышает характеристики кварцевой технологической трубки (предел 1200 ℃) и обычной керамической технологической трубки;

2. Отличная стойкость к тепловому удару: технологическая трубка может выдерживать быстрый подъем и падение температуры со скоростью 1000 ℃/мин;

3. Сверхвысокая химическая инертность: устойчив к едким газам, таким как HCl, Кл₂, ВЧ и т. д.;

4. Сверхвысокая чистота и низкий уровень загрязнения: содержание примесей металлов <1 ppm;

5. Длительный срок службы: высокая противоседиментационая способность и низкие затраты на техническое обслуживание;

6. Оптимизация равномерности теплового поля: трубы печи RSiC обладают высокой теплопроводностью, быстрой гомогенизацией и снижением осевой разницы температур в печи (контролируется в пределах ± 0,3 ℃).

ОСНОВНОЙ ПАРАМЕТР

Оборудование для высокотемпературных печей

RSiC

Содержание SiC (%)

≥99%

Насыпная плотность (г/см3)3)

2,65~2,75

Кажущаяся пористость (%)

<17

Прочность при комнатной температуре (МПа)

90~100

Прочность при 1300℃(МПа)

100-110

Модуль упругости при 20℃

240

Теплопроводность при 1200 ℃ (Вт/мК)

36

Тепловое расширение x10-6/℃

4.6

Максимальная температура использования (℃)

1650℃

Твердость при 20°C (кг/мм2)

2000

Вязкость разрушения при 20° (МПаxМ)1/2)

2.0

ПОДРОБНЕЕ О ПРОДУКТЕ

Process Tube


Труба печи/технологическая труба RSiC, чистота спеченного тела выше 3N, а точность обработки технологической трубки составляет 0,01 мм.

УПАКОВКА

furnace tube

О НАС

Являясь торговым предприятием, специализирующимся на предоставлении услуг полной отраслевой цепочки карбида кремния (SiC), компания Райзпорт Глобальный Трейдеры ООО. (Шэньян) имеет значительные преимущества на внешнеторговой платформе с точки зрения бизнес-модели и цепочки создания стоимости.Предприятие имеет возможность интегрировать производственную цепочку: вверх по течению: соединение с ведущими отечественными предприятиями по производству карбида кремния, охватывающее весь спектр сырья, продукции (абразивные материалы, керамические детали) и полупроводниковых приборов (пластины, силовые модули).Вниз по течению: обслуживание международных покупателей, предоставление индивидуальных услуг и комплексных решений по закупкам.Оказывать высококачественные услуги по закупкам, логистике, таможенному оформлению, трансграничным расчетам и т. д. 

Получить последнюю цену? Мы ответим как можно скорее (в течение 12 часов)