Электронная почта
info@riseportglobal.comТелефон
+86-18642501777
Трубка печи RSiC для полупроводников высокой чистоты
ОПИСАНИЕ ПРОДУКТА
Печь для полупроводников, краеугольный камень современного производства микросхем, опирается на важнейший компонент: трубку печи RSiC. Эта трубка из высокочистого карбида кремния служит сердцем вертикальных или горизонтальных диффузионно-окислительных печей. В этой трубке пластины на специализированных носителях подвергаются точным высокотемпературным процессам в контролируемой атмосфере. Будучи незаменимой высокотемпературной платформой, трубка печи RSiC играет центральную роль в ключевых процессах производства полупроводников, включая термическое окисление, диффузию, LPCVD и отжиг, обеспечивая непревзойденную однородность, стабильность и производительность.
Характеристики трубы печи RSiC
Применение карбидкремниевых материалов в высокотемпературном полупроводниковом оборудовании имеет ряд важных преимуществ:
Исключительная устойчивость к высоким температурам: способен длительно работать в условиях температур свыше 1600 °C, с кратковременным допуском до 1800 °C.
Превосходная стойкость к тепловому удару: сочетание высокой теплопроводности и низкого коэффициента теплового расширения позволяет трубкам печей из карбида кремния выдерживать быстрые циклы нагрева и охлаждения без повреждений.
Исключительная химическая инертность: демонстрирует отличную стойкость к коррозии, вызываемой кислотами, щелочами и различными технологическими газами, обеспечивая чистоту процесса.
Высокая механическая прочность и твердость: сохраняет структурную целостность и противостоит деформации при высоких термических и механических нагрузках, обеспечивая длительный срок службы.
Равномерное распределение теплового поля: разработано для поддержания максимально постоянного профиля температуры с минимальным градиентом стенок, что имеет решающее значение для однородности процесса на всех пластинах.
ОСОБЕННОСТИ И ПРЕИМУЩЕСТВА
Экстремальная термостойкость: гарантирует производительность и долговечность в самых сложных термических процессах.
Возможность быстрого термоциклирования: прочная труба печи RSiC может выдерживать агрессивные скорости нагрева и охлаждения, повышая производительность и сокращая время цикла.
Высокая теплопроводность: обеспечивает эффективную передачу тепла и стабильную, равномерную тепловую среду внутри трубы печи из карбида кремния.
Превосходная структурная целостность: обеспечивает надежную поддержку пластинчатых лодочек без провисания в течение длительного срока службы.
Отличная стойкость к коррозии и износу: защищает от агрессивных химических веществ и атмосферной эрозии, сводя к минимуму образование частиц и загрязнение.
ОСНОВНОЙ ПАРАМЕТР
Оборудование для высокотемпературных печей | RSiC |
Содержание SiC (%) | ≥99% |
Насыпная плотность (г/см3)3) | 2,65~2,75 |
Кажущаяся пористость (%) | <17 |
Прочность при комнатной температуре (МПа) | 90~100 |
Прочность при 1300℃(МПа) | 100-110 |
Модуль упругости при 20℃ | 240 |
Теплопроводность при 1200 ℃ (Вт/мК) | 36 |
Тепловое расширение x10-6/℃ | 4.6 |
Максимальная температура использования (℃) | 1650℃ |
Твердость при 20°C (кг/мм2) | 2000 |
Вязкость разрушения при 20° (МПаxМ)1/2) | 2.0 |
ИНФОРМАЦИЯ О ПРОДУКТЕ
В производстве полупроводников трубка печи RSiC является основным сосудом высокотемпературного оборудования. Эта трубка печи из высокочистого карбида кремния создаёт герметичную, однородную и свободную от загрязнений среду, необходимую для обработки пластин.
Основные функции:
Для размещения пластин (загруженных в лодочки) и облегчения критических высокотемпературных стадий, таких как диффузия, окисление, отжиг и осаждение тонких пленок.
Для обеспечения герметичности трубчатая печь RSiC позволяет точно контролировать поток и распределение реактивных газов (например, O₂, N₂).
Исключительные свойства трубы печи RSiC обеспечивают постоянство процесса, максимизируют выход продукции и имеют основополагающее значение для производства современных полупроводниковых приборов.
УПАКОВКА
НАШЕ ПРЕИМУЩЕСТВО
Компания Райзпорт Глобальный Трейдеры ООО. (Шэньян), специализирующаяся на продукции из карбида кремния (SiC), создала модель трансграничных торговых услуг для всей цепочки поставок SiC посредством интеграции ресурсов. Компания обладает конкурентным преимуществом, охватывая различные аспекты всей цепочки поставок, включая поставки сырья, индивидуальную разработку продукции и другие звенья. Централизованные закупки позволяют компании снижать маржинальные издержки и добиваться быстрого реагирования, повышая эффективность и экономя средства покупателей. Компания предоставляет услуги по изготовлению продукции, отвечающие различным потребностям клиентов, включая логистические, таможенные, расчетные и другие звенья, а также обеспечивая полный цикл и удобство обслуживания.
