Электронная почта
info@riseportglobal.comТелефон
+86-18642501777
Арматура для камер с тепловым экраном печи RSiC
ОПИСАНИЕ ПРОДУКТА
Теплозащитная пластина RSiC является ключевым компонентом высокотемпературного оборудования, такого как диффузионные печи, печи химического осаждения из газовой фазы, печи отжига и т. д. Теплозащитная пластина RSiC играет важную роль в снижении тепловых потерь, поддержании равномерности температуры и защите внешних конструкций. Основные функции теплозащитной пластины печи включают в себя:
Теплоизоляция: используется в процессах термообработки и LPCVD для переноса кремниевых лодочек, эффективно блокируя теплопередачу и обеспечивая эффективную изоляцию;
Улучшить равномерность температуры: с помощью многослойной конструкции отражения или изоляции способствовать равномерному распределению теплового поля в печи и контролировать разницу температур в диапазоне ± 1-2 ℃;
Функция механической поддержки: теплозащитные пластины RSiC обеспечивают прочную и устойчивую опорную основу для нагревательных элементов, технологических трубок или устройств переноса чипов.
Характеристики теплозащитной пластины печи RSiC
Высокая термостойкость: может стабильно работать в течение длительного времени в среде с температурой 800~1600 ℃, адаптируясь к различным технологическим требованиям;
Низкая теплопроводность: теплопроводность при комнатной температуре обычно ниже 1 Вт/(м · К), что эффективно подавляет теплопроводность;
Химическая инертность: устойчив к коррозии, вызываемой различными технологическими газами (такими как O₂, H₂, HCl и т. д.), сохраняя стабильные эксплуатационные характеристики;
Материал высокой чистоты: благодаря чрезвычайно низкому содержанию примесей теплозащитная пластина RSiC предотвращает загрязнение пластины летучими веществами при высоких температурах;
Легкая конструкция: благодаря небольшой теплоемкости теплозащитная пластина способствует быстрому нагреву и охлаждению, повышая эффективность процесса.
ОСОБЕННОСТИ И ПРЕИМУЩЕСТВА
· Высокая термостойкость
· Стойкость к термическому удару
· Высокая теплопроводность
· Высокая механическая прочность
· Устойчивость к кислотам и щелочам
· Износостойкость
ОСНОВНОЙ ПАРАМЕТР
Оборудование для высокотемпературных печей | RSiC |
Содержание SiC (%) | ≥99% |
Насыпная плотность (г/см3)3) | 2,65~2,75 |
Кажущаяся пористость (%) | <17 |
Прочность при комнатной температуре (МПа) | 90~100 |
Прочность при 1300℃(МПа) | 100-110 |
Модуль упругости при 20℃ | 240 |
Теплопроводность при 1200 ℃ (Вт/мК) | 36 |
Тепловое расширение x10-6/℃ | 4.6 |
Максимальная температура использования (℃) | 1650℃ |
Твердость при 20°C (кг/мм2) | 2000 |
Вязкость разрушения при 20° (МПаxМ)1/2) | 2.0 |
ПОДРОБНЕЕ О ПРОДУКТЕ
Полупроводниковая экранирующая пластина — это далеко не просто изоляционный материал. Это ключевой функциональный компонент, сочетающий в себе изоляцию, выравнивание температуры, несущую способность, защиту от обрастания и повышение эффективности, напрямую влияющий на производительность, эффективность, выход годных изделий и стоимость процессов производства полупроводников.
УПАКОВКА
НАШИ ПРЕИМУЩЕСТВА
Компания Райзпорт Глобальный Трейдеры ООО. (Шэньян) поставляет высококачественную продукцию клиентам по всему миру благодаря эффективной производственной системе, оснащённой передовыми технологиями, что гарантирует высочайшее качество и быстрое реагирование. Благодаря диверсифицированным логистическим решениям, включающим морские, воздушные и наземные перевозки, мы обеспечиваем бесперебойный комплексный сервис, гарантируя безопасную и своевременную доставку по всему миру. Мы специализируемся на предоставлении точных спецификаций в соответствии с вашими потребностями, от нестандартных размеров до готовых OEM/ОДМ-проектов.
