Полупроводники и фотоэлектрические элементы

Трубки полупроводниковых печей (например, те, которые используются в диффузионных печах, окислительных печах и т. д.) должны соответствовать строгим требованиям, таким как сверхвысокая чистота, высокая температурная стабильность и стойкость к тепловым ударам. Печная труба из RSiC стала распространенным материалом благодаря своим превосходным свойствам. Чистота спеченного тела — выше 3N, точность обработки — 0,01 мм.

Держатель пластин RSiC является важнейшим компонентом в производстве полупроводников и процессах выращивания кристаллов. Он специально разработан для переноса кремниевых пластин или подложек из карбида кремния в условиях высоких температур. Этот незаменимый 12-дюймовый держатель пластин обеспечивает надежную поддержку на различных этапах термической обработки.

Защитная трубка термопары из карбида кремния, связанного нитридом кремния (НСиК), является ключевым компонентом в области высокотемпературных измерений. Защитная трубка термопары НСиК демонстрирует превосходные эксплуатационные характеристики в экстремальных условиях, требующих высокой термостойкости, износостойкости и термостабильности.

Изоляционный цилиндр камеры печи является ключевым компонентом теплового поля, используемым в процессах производства полупроводников, таких как выращивание монокристаллического кремния и термическая обработка пластин. Изоляционный ствол должен соответствовать требованиям экстремально высоких температур, высокой чистоты и превосходной теплоизоляции.

Теплозащитная пластина печи является основным компонентом высокотемпературных полупроводниковых фотоэлектрических систем. Оборудование для спекания нового материала теплозащитной пластины RSiC. Теплозащитная пластина RSiC обладает высокой термостойкостью, низкими потерями тепла и длительным сроком службы.

Консольная лопатка из рекристаллизованного карбида кремния представляет собой высокопроизводительный керамический компонент, который в основном используется в таких отраслях, как химическая, металлургическая, охрана окружающей среды и производство полупроводников, благодаря своей превосходной стойкости к высоким температурам, коррозионной стойкости, износостойкости и хорошей стабильности при термических ударах.

Лодочка из SiC-пластины является ключевым носителем в процессах производства полупроводников и выращивания кристаллов, в основном используется для переноса кремниевых пластин или подложек из карбида кремния в высокотемпературных средах. Лодочка из карбида кремния обладает такими преимуществами, как высокая чистота, высокая термостойкость (выше 1600 °C), стойкость к кислотной и щелочной коррозии, низкий коэффициент теплового расширения и высокая теплопроводность.

Лодочка из RSiC-пластины является ключевым носителем в процессах производства полупроводников и выращивания кристаллов, в основном используется для переноса кремниевых пластин или подложек из карбида кремния в условиях высоких температур. Горизонтальные вафельные лодочки используются в горизонтальных диффузионных печах.

Носитель пластин RSiC является ключевым носителем в производстве полупроводников и процессах выращивания кристаллов, в основном используется для переноса кремниевых пластин или подложек из карбида кремния в высокотемпературных средах. Полупроводниковые пластинчатые носители обладают такими преимуществами, как высокая чистота, высокая термостойкость (выше 1600 °C), стойкость к кислотной и щелочной коррозии, низкий коэффициент теплового расширения и высокая теплопроводность.

Труба печи RSiC: Труба печи из рекристаллизованного карбида кремния является ключевым компонентом оборудования для производства полупроводников, в основном используется в высокотемпературных технологических камерах (таких как эпитаксиальное выращивание, ионная имплантация, диффузионные печи и т.д.). Чистота спеченного материала превышает 3N, а точность обработки достигает 0,01 мм, что соответствует требованиям сверхвысокой чистоты, коррозионной стойкости и точности размеров.

Лодочки RSiC для пластин являются важнейшим компонентом в производстве полупроводников, предназначенным для надежной фиксации пластин во время высокотемпературных процессов. Лодочки RSiC для пластин обладают высокой термостойкостью, превосходной стойкостью к тепловым ударам, превосходной стойкостью к кислотной и щелочной коррозии, высокой чистотой и структурной стабильностью.

Защитная трубка термопары из рекристаллизованного карбида кремния (RSiC) является ключевым компонентом в области высокотемпературных измерений. Термопарная трубка RSiC демонстрирует превосходные эксплуатационные характеристики в экстремальных условиях, требующих высокой термостойкости, износостойкости и термической стабильности.