Вафля Лодка/Кэрри

Держатель пластин RSiC является важнейшим компонентом в производстве полупроводников и процессах выращивания кристаллов. Он специально разработан для переноса кремниевых пластин или подложек из карбида кремния в условиях высоких температур. Этот незаменимый 12-дюймовый держатель пластин обеспечивает надежную поддержку на различных этапах термической обработки.

Лодочка из SiC-пластины является ключевым носителем в процессах производства полупроводников и выращивания кристаллов, в основном используется для переноса кремниевых пластин или подложек из карбида кремния в высокотемпературных средах. Лодочка из карбида кремния обладает такими преимуществами, как высокая чистота, высокая термостойкость (выше 1600 °C), стойкость к кислотной и щелочной коррозии, низкий коэффициент теплового расширения и высокая теплопроводность.

Лодочка из RSiC-пластины является ключевым носителем в процессах производства полупроводников и выращивания кристаллов, в основном используется для переноса кремниевых пластин или подложек из карбида кремния в условиях высоких температур. Горизонтальные вафельные лодочки используются в горизонтальных диффузионных печах.

Носитель пластин RSiC является ключевым носителем в производстве полупроводников и процессах выращивания кристаллов, в основном используется для переноса кремниевых пластин или подложек из карбида кремния в высокотемпературных средах. Полупроводниковые пластинчатые носители обладают такими преимуществами, как высокая чистота, высокая термостойкость (выше 1600 °C), стойкость к кислотной и щелочной коррозии, низкий коэффициент теплового расширения и высокая теплопроводность.

Лодочки RSiC для пластин являются важнейшим компонентом в производстве полупроводников, предназначенным для надежной фиксации пластин во время высокотемпературных процессов. Лодочки RSiC для пластин обладают высокой термостойкостью, превосходной стойкостью к тепловым ударам, превосходной стойкостью к кислотной и щелочной коррозии, высокой чистотой и структурной стабильностью.