Электронная почта
info@riseportglobal.comТелефон
+86-18642501777Трубки полупроводниковых печей (например, те, которые используются в диффузионных печах, окислительных печах и т. д.) должны соответствовать строгим требованиям, таким как сверхвысокая чистота, высокая температурная стабильность и стойкость к тепловым ударам. Печная труба из RSiC стала распространенным материалом благодаря своим превосходным свойствам. Чистота спеченного тела — выше 3N, точность обработки — 0,01 мм.
Электронная почтаБолее
Труба печи RSiC: Труба печи из рекристаллизованного карбида кремния является ключевым компонентом оборудования для производства полупроводников, в основном используется в высокотемпературных технологических камерах (таких как эпитаксиальное выращивание, ионная имплантация, диффузионные печи и т.д.). Чистота спеченного материала превышает 3N, а точность обработки достигает 0,01 мм, что соответствует требованиям сверхвысокой чистоты, коррозионной стойкости и точности размеров.
Электронная почтаБолее