Электронная почта
info@riseportglobal.comТелефон
+86-18642501777
6-дюймовая пластина-лодочка SiC полупроводник высокой твердости
Лодочка из карбида кремния имеет множество существенных преимуществ, благодаря которым она отлично подходит для использования в жестких условиях, таких как высокая температура, высокая чистота и сильная коррозия.
Лодочки из карбида кремния обладают высокой термической стабильностью. Длительная рабочая температура лодочек из карбида кремния может достигать 1350–1650 °C, что соответствует требованиям основных процессов производства полупроводников, таких как химическое осаждение из газовой фазы (сердечно-сосудистые заболевания), диффузия, отжиг и т. д. Лодочки из карбида кремния не размягчаются и не деформируются при кратковременной температуре 1700 °C. Лодочки из карбида кремния подходят для использования в высокопроизводительном оборудовании, таком как печи для обработки отдельных пластин из карбида кремния.
Лодочка из карбида кремния обладает низким коэффициентом теплового расширения и превосходной термостойкостью, что позволяет ей выдерживать резкие перепады температур и предотвращать образование структурных трещин, вызванных термическими напряжениями. Даже в сложных высокотемпературных средах лодочка из карбида кремния сохраняет хорошую морфологию и эксплуатационные характеристики.
Лодочки из SiC обладают исключительно высокой чистотой поверхности и низким уровнем загрязнения. Материал отличается высокой чистотой и крайне низким содержанием металлических примесей, что позволяет избежать вторичного загрязнения кремниевых пластин. Шероховатость поверхности Ра может контролироваться на уровне менее 0,1 мкм, что соответствует строгим требованиям к уровню чистоты, предъявляемым к передовым технологиям.
Кроме того, изготовление лодочек из SiC на заказ позволяет получить канавки для зубцов без заусенцев и повреждений, а также изготавливать лодочки различных размеров, например, лодочки диаметром 4 дюйма, 6 дюймов, 8 дюймов, 12 дюймов и т. д.
Наконец, структура лодочек из SiC-пластины отличается высокой прочностью и длительным сроком службы, средний срок службы которой в 5–10 раз превышает срок службы традиционных кварцевых лодочек, что значительно снижает частоту замены оборудования и общие затраты на его эксплуатацию.
МАТЕРИАЛЬНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
Полупроводниковая/фотоэлектрическая промышленность | RSiC |
Чистота SiC (%) | 99.9-99.99 |
Насыпная плотность (г/см3)3) | 2.65-2.75 |
Кажущаяся пористость (%) | 15-16 |
Прочность при комнатной температуре (МПа) | 90 |
Прочность при 1300℃(МПа) | 100 |
Прочность соединения спеченного тела (МПа) | 25 |
ПОДРОБНЕЕ О ПРОДУКТЕ
Это изделие представляет собой лодочку диаметром 150 мм, предназначенную для размещения соответствующей 6-дюймовой пластины. Количество пластин, которые может разместить лодочка диаметром 150 мм, обычно составляет от 25 до 100.
По сравнению с кварцевыми материалами, 6-дюймовые лодочки обладают рядом характеристик, характерных для керамики на основе карбида кремния. 6-дюймовые лодочки трудно поддаются деформации изгиба и термическим деформациям, но могут адаптироваться к суровым условиям, таким как сильная коррозия и сверхвысокие температуры в соединениях при производстве пластин. Карбидокремниевая керамика является наилучшим материалом для лодочек, а 6-дюймовые лодочки также являются новым продуктом на рынке лодочек.
УПАКОВКА
О НАС
Компания Райзпорт Глобальный Трейдеры ООО. (Шэньян) — интегрированное промышленно-торговое предприятие, специализирующееся на индивидуальных решениях из карбида кремния. Мы предоставляем комплексные услуги OEM и ОДМ, поставляя печные припасы на заказ, включая изготовление по индивидуальным размерам и техническое проектирование. Благодаря валидации образцов и строгим стандартам качества мы гарантируем надежную работу в самых разных производственных условиях.
