Электронная почта
info@riseportglobal.comТелефон
+86-18642501777
12-дюймовые трехколонные носители пластин RSiC полупроводниковые лотки
В полупроводниковой промышленности 12-дюймовый держатель пластин играет важнейшую роль в линиях по производству 12-дюймовых (300 мм) кремниевых микросхем. Этот держатель пластин RSiC служит высокопроизводительным расходным компонентом, интегрируемым в существующее 12-дюймовое оборудование для производства кремниевых кристаллов, в частности, в вертикальные диффузионные печи. Изготовленный из высокочистого карбида кремния, этот усовершенствованный держатель пластин из рекристаллизованного карбида кремния обладает исключительными эксплуатационными характеристиками:
1. Исключительная прочность при высоких температурах: 12-дюймовый держатель пластин сохраняет механическую целостность даже при температурах свыше 1650 °C, предотвращая деформацию и надежно поддерживая тяжелые 12-дюймовые пластины.
2. Превосходная термостойкость и ударопрочность: носитель пластин RSiC выдерживает чрезвычайно быстрые циклы нагрева и охлаждения без растрескивания, что значительно сокращает технологические циклы и повышает производительность производства.
3. Сверхвысокая чистота и низкий уровень загрязнений: этот носитель из перекристаллизованного карбида кремния содержит минимальное количество металлических примесей, меньше загрязнений, чем кварц, что делает его идеальным для современных процессов, чувствительных к примесям.
4. Высокая теплопроводность: 12-дюймовый держатель пластин способствует равномерному распределению температуры внутри трубы печи, улучшая последовательность процесса.
Наши производственные возможности включают в себя производство держателей для пластин (плитки), трёхколоночных и четырёхколоночных держателей для пластин. Эти решения для держателей пластин на основе RSiC широко применяются в полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности, особенно хорошо подходят для процессов окисления и ионной имплантации с пластинами меньшего размера.
МАТЕРИАЛЬНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
Полупроводниковая/фотоэлектрическая промышленность | RSiC |
Чистота SiC (%) | 99.9-99.99 |
Насыпная плотность (г/см3)3) | 2.65-2.75 |
Кажущаяся пористость (%) | 15-16 |
Прочность при комнатной температуре (МПа) | 90 |
Прочность при 1300℃(МПа) | 100 |
Прочность соединения спеченного тела (МПа) | 25 |
ИНФОРМАЦИЯ О ПРОДУКТЕ
Носитель пластин из перекристаллизованного карбида кремния
Рекристаллизованный карбидкремниевый носитель пластин изготавливается с использованием высокочистого карбида кремния методом рекристаллизационного спекания. Этот носитель пластин RSiC имеет прецизионно обработанные зубцы и канавки, что обеспечивает гладкую поверхность без заусенцев.
Этот 12-дюймовый держатель пластин, специально разработанный для производственных отраслей, требующих исключительной чистоты и стабильности, включая производство полупроводников, фотоэлектрических устройств и светодиодов, имеет основную функцию — безопасную и стабильную поддержку кремниевых пластин. Этот усовершенствованный держатель пластин RSiC широко применяется в критически важных процессах, таких как химическое осаждение из газовой фазы (сердечно-сосудистые заболевания), термодиффузия и высокотемпературный отжиг.
УПАКОВКА
НАШИ УСЛУГИ
Компания Райзпорт Глобальный Трейдеры ООО. (Шэньян) предоставляет услуги OEM и ОДМ, контроль качества на всех этапах процесса, обратную связь по статусу заказа в режиме реального времени, профессиональные технические консультации и оперативное решение послепродажных проблем. Мы также предлагаем индивидуальные решения для международной логистики, предоставляя клиентам технологическую модернизацию и оптимизацию цепочки поставок, обеспечивая бесперебойную работу на всех этапах – от закупки до внедрения.
