Печные трубы и аксессуары

Трубки полупроводниковых печей (например, те, которые используются в диффузионных печах, окислительных печах и т. д.) должны соответствовать строгим требованиям, таким как сверхвысокая чистота, высокая температурная стабильность и стойкость к тепловым ударам. Печная труба из RSiC стала распространенным материалом благодаря своим превосходным свойствам. Чистота спеченного тела — выше 3N, точность обработки — 0,01 мм.

Изоляционный цилиндр камеры печи является ключевым компонентом теплового поля, используемым в процессах производства полупроводников, таких как выращивание монокристаллического кремния и термическая обработка пластин. Изоляционный ствол должен соответствовать требованиям экстремально высоких температур, высокой чистоты и превосходной теплоизоляции.

Теплозащитная пластина печи является основным компонентом высокотемпературных полупроводниковых фотоэлектрических систем. Оборудование для спекания нового материала теплозащитной пластины RSiC. Теплозащитная пластина RSiC обладает высокой термостойкостью, низкими потерями тепла и длительным сроком службы.

Консольная лопатка из рекристаллизованного карбида кремния представляет собой высокопроизводительный керамический компонент, который в основном используется в таких отраслях, как химическая, металлургическая, охрана окружающей среды и производство полупроводников, благодаря своей превосходной стойкости к высоким температурам, коррозионной стойкости, износостойкости и хорошей стабильности при термических ударах.

Труба печи RSiC: Труба печи из рекристаллизованного карбида кремния является ключевым компонентом оборудования для производства полупроводников, в основном используется в высокотемпературных технологических камерах (таких как эпитаксиальное выращивание, ионная имплантация, диффузионные печи и т.д.). Чистота спеченного материала превышает 3N, а точность обработки достигает 0,01 мм, что соответствует требованиям сверхвысокой чистоты, коррозионной стойкости и точности размеров.